摘要：介绍了一种新型的紫外光刻体系，它由包含低分子量PVP（K30）作为稳定剂的钯胶和用作光刻胶的高分子量PVP（K90）／DAS组成。通过紫外光引发DAS分解及PVP交联、乙醇显影和高温处理在玻璃基片的表面选择性固定Pd颗粒，然后通过Pd颗粒引发化学镀，得到铜线路图形。采用扫描电镜（SEM）观察并讨论了显影时间及其对图形分辨率的影响。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社