杂志简介：《传感技术学报》杂志经新闻出版总署批准，自1988年创刊，国内刊号为32-1322/TN，是一本综合性较强的电子期刊。该刊是一份月刊，致力于发表电子领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：传感器研究、传感器信号处理、无线传感器技术、传感器应用
杂志简介：《传感技术学报》杂志经新闻出版总署批准，自1988年创刊，国内刊号为32-1322/TN，是一本综合性较强的电子期刊。该刊是一份月刊，致力于发表电子领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：传感器研究、传感器信号处理、无线传感器技术、传感器应用
作者：关乐; 褚金奎; 王晓东; 张段芹; 王立鼎 刊期：2006年第05期
随着对微尺度下MEMS材料力学特性研究的深入,片上集成测试方法应用愈加广泛.针对MEMS系统具有多能量域耦合的特点,应用基于MEMS宏模型技术的系统级设计工具来获得整个系统的行为特性已成为研究热点.概述了几种建立MEMS宏模型的基本方法,并对其中的节点法进行了详细阐述,利用CoventorWare软件设计了一种测试多晶硅杨氏模量的集成测试结构,首次将...
作者：闫子健; 苑伟政; 吕湘连; 李俊; 常洪龙 刊期：2006年第05期
基于Krylov子空间投影法结合有限元分析(FEA)建立了一种宏模型提取方法,以便能够在系统级快速地建立器件宏模型.这种方法通过对整个2D或3D器件有限元分析的结果提取宏模型.基于这种方法建立的宏模型具有计算代价低、精度合适的特点,而且能方便地插入到系统级仿真器进行仿真.文中通过一个谐振器结构阐释了这一方法,并且针对所建立的谐振器结构宏...
作者：常洪龙; 谢建兵; 徐景辉; 阎子健; 苑伟政 刊期：2006年第05期
当前MEMS CAD软件中可以支持的设计流程比较固定和单一,已不能完全满足由MEMS器件种类日益增多所带来的设计新需求.论文提出了一种可支持任意流程的MEMS设计方法,并基于此建立了设计工具原型系统.该方法采用通用的系统级、器件级和工艺级的三级架构,但以网表、标准格式的实体模型和版图文件分别作为这三个级别设计数据的出入口.设计了相应的信息...
作者：王小鹏; 陈天宁; 杨战孝 刊期：2006年第05期
多腔体的微型可降解高分子聚合物PLGA药物缓释系统是一种新型植入式给药微器件,其载体结构是结合药物释放的要求和高分子聚合物生物降解特性进行设计并利用MEMS工艺制备.为了解微型给药系统实际释药的性能,需要对其进行建模和仿真研究.基于体溶蚀的Monte Carlo溶蚀模型,建立了具有多腔体的微型PLGA给药载体的释药模型,并对腔体结构为圆形的微型...
作者：方华军; 刘理天; 任天令 刊期：2006年第05期
利用压电多层膜悬臂梁的形变曲率半径,导出了简洁的压电悬臂梁型微执行器的偏转模型.采用此模型,对硅基PZT压电悬臂梁型微执行器进行了模拟和分析.分析获得了各层薄膜结构参数与微执行器偏转位移的关系.根据此分析结果,进一步优化了压电悬臂梁型微执行器的设计,并给出了优化的方法.
作者：徐景辉; 苑伟政; 常洪龙; 谢建兵 刊期：2006年第05期
研究了一种准标准格式的三维实体文件的结构,在此基础上提出了三维实体到标准工艺版图的转换方法,并采用VC++编程语言开发了相应的转换接口.最后通过典型MEMS器件--微机械加速度计进行了验证,结果表明这种转换方法是切实可行的.
作者：冯仁剑; 于尚民; 万江文; 吴银锋 刊期：2006年第05期
MEMS静电驱动结构的瞬时特性受其结构本身机械动态特性的影响,自然阻尼过高或者过低都可能会让系统发生操作偏差.利用状态空间分析法分析了MEMS静电驱动结构的工作机理.基于状态反馈原则设计了一种输入量控制方法,即根据系统要求指标来配置极点,实现最优控制.仿真实验结果证明,该方法能提高系统的瞬时特性.
作者：李俊; 李晓莹; 吕湘连; 闫子建; 常洪龙 刊期：2006年第05期
宏模型的获取是由Krylov子空间投影法结合器件级有限元分析的宏建模方法来实现,利用此模型和基于可重用IP设计思想的系统级组件建模方法建立由VHDL-AMS语言描述的梳齿谐振器系统级模型,在华大VDE仿真平台上搭建出了梳齿谐振器的系统模型,并进行一系列的仿真,包括时域阶跃、交流电压信号仿真和频域交流小信号仿真,仿真结果与商用仿真工具ANSYS仿...
作者：邓伟; 李伟华 刊期：2006年第05期
设计了一种MEMS器件三维结构生成的方法,介绍了结合工艺流程实现转换的全过程,对相关算法进行了详细论述.结合工艺流程时首先将二维版图文件预处理,加载器件工艺流程后,程序实现相关参数选择后并存储.给定了工艺步骤的搭配关系,进行工艺解释后,进行三维实体绘制输出.编程实现的可执行文件可对多种MEMS器件进行正确的三维描述,从而验证了该三维生...
作者：赵钢; 褚家如 刊期：2006年第05期
以超高密度信息存储技术为应用背景,设计了低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针,并安排了探针加工工艺流程.通过建立更接近真实结构的悬臂梁模型,推导出了非矩形不等截面多层材料复合悬臂梁的弹性常数和谐振频率计算公式,并算出设计的悬臂梁探针的弹性常数和谐振频率分别为4 N/m和245 kHz.通过悬臂梁几何参数对力学性能影响的分析,从力学性...
作者：高嵘; 王小静; 张效翔; 王敏; 于茂华; 谢明春 刊期：2006年第05期
针对横向振动MEMS微谐振器,计入非线性空气阻尼力,对微谐振器非线性动力学特性进行研究.建立微谐振器非线性动力学模型,计入滑移边界条件和稀薄气体效应,利用FLUENT和MATLAB对Navier-Stokes方程和动力学方程进行求解.经过与国外实验对比,可得出考虑非线性阻尼力的平板振幅值非常接近实验值,振幅峰-峰值误差仅为6%,且优于线性动力学的分析结果.为...
作者：黎仁刚; 黄庆安; 李伟华 刊期：2006年第05期
本文提出了一种平面运动热执行器的热-电-机械耦合节点模型,此模型不仅可以仿真热执行器中随温度变化的热导率、电阻率和热膨胀率效应,而且可以仿真热执行器机械域的几何非线性效应,从而使用于仿真热执行器的行为的节点法模型实用化.ANSYS有限元仿真的结果证明此模型的不但精度较高,而且计算效率很高.
作者：李敏; 黄庆安; 李伟华 刊期：2006年第05期
采用加权残余法建立了静电驱动梁单元的节点法模型,在HSPICE中构建了相应的等效电路模型.以静电驱动的双端固支梁为例用ANSYS模拟软件对模型进行了验证,结果表明模型具有较高的精度.
作者：林谢昭; 应济 刊期：2006年第05期
为了研究静电致动圆板静态和动态特性,在模态分析法的基础上,利用多维非线性函数的Levenberg-Marquardt拟合方法,将板的动能、弹性能和电容写成以模态坐标表示的解析式.结合Hamilton原理,导出静电致动微圆板的动力学特性方程的宏模型.以此为基础研究了板的静态特性及其三角波、方波信号激励下的动态响应.结果表明,模态分析方法能够考虑到残余应...
作者：赖文滨; 李伟华 刊期：2006年第05期
研究了MEMS器件结构参数的自动优化算法及其实现技术.以悬臂梁的谐振频率指标为例,通过TSPICE软件,模拟其在给定初始结构参数下的谐振频率,算法自动完成指标分析并选取适当的修正步长,采用恰当的参数修正算法对器件结构参数进行优化,通过循环迭代直至满足用户频率指标和精度指标要求.最后采用CoventorWare软件对优化结果进行了验证.
影响因子：0.16
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期刊级别：省级期刊
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