【免费】玻璃基板上硅薄膜附着力的研究-发表之家

玻璃基板上硅薄膜附着力的研究

作者：朱建强; 姜英娜; 宋晨路; 韩高荣威海蓝星玻璃股份有限公司; 威海市; 264205; 浙江大学无机非金属材料研究所; 杭州市; 310027

玻璃基板附着力硅薄膜 cvd工艺 sih4

摘要：采用APCVD工艺,以SiH4为原料在不同温度的玻璃基板上硅质薄膜的制备,采用划痕法测量薄膜与基板之间的附着力,研究了薄膜附着力随基板温度变化趋势.说明了吸附、扩散的增强以及沉积速率的增大等都会导致薄膜附着力的增加.

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