摘要：一、引言 自从1976年非晶硅太阳电池诞生以来〈1〉．到现在已经有30多年的历史．非晶硅太阳电池是薄膜类太阳电池中最成熟．并已大规模生产的电池品种．单条生产能力从1MW提高到25MW～30MW〈2〉，低成本的非晶硅在市场上占据着一定的优势。

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