摘要：本文主要介绍了半导体企业开展碳审计的六大步骤,介绍了半导体企业FC（HFC,PFC）气体碳审计的方法,并以某半导体企业为研究对象,分析其FC气体的排放比例,指出C2F6,CF4,SF6是FC气体减排的重点。
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