摘要:近日,AerotechQNP.XY系列压电纳米级定位平台,为诸如从显微镜到光学定位之类要求最苛刻的应用提供分辨率、线性度、重复性和高动态等方面的特性。0.15nm的分辨率、0.007%的线性度以及2nm的重复性,保证了纳米级的精度。与其他类似尺寸和行程的平台相比,该平台具有最高的动态性能(谐振频率和刚度).
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