摘要:针对伺服电机存在的使用和低速出力小及停止晃动等问题,本公司推出步进电机闭环Ezi—SERVO产品,以解决和改善上述问题。文中对其该产品的工作原理及Ezi—Servo在TFT八代厂注胶、框胶与点胶及取放晶圆的机械手臂上使用案例作了简单介绍。以便用户参考。
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