摘要：文章介绍了晶圆激光切割工艺,晶圆切割设备设备组成以及横河DD马达、横河直线电机组成的直线平台特点以及在激光切割设备中的应用。提出了直接驱动伺服、直线电机在该设备使用的优势,直接驱动伺服的使用在未来必将是一个发展趋势,在高精密运动控制设备上的使用会越来越广泛。

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