真空科学与技术学报

真空科学与技术学报杂志 北大期刊 CSCD期刊 统计源期刊

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

杂志简介:《真空科学与技术学报》杂志经新闻出版总署批准,自1981年创刊,国内刊号为11-5177/TB,是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊,致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目:综述评述、研究快报、研究论文

主管单位:中国科学技术协会
主办单位:中国真空学会
国际刊号:1672-7126
国内刊号:11-5177/TB
全年订价:¥ 700.00
创刊时间:1981
所属类别:工业类
发行周期:月刊
发行地区:北京
出版语言:中文
预计审稿时间:1-3个月
综合影响因子:0.53
复合影响因子:0.43
总发文量:2514
总被引量:9677
H指数:21
引用半衰期:4.2318
立即指数:0.0045
期刊他引率:0.4178
平均引文率:15.5495
  • 夹管型橡胶真空界面阀的设计及流通性能分析

    作者:孙金风; 李志成; 胡龙; 胡永凉 刊期:2019年第12期

    真空界面阀作为真空排污系统的核心部件,作用是在非工作状态下把真空管道内真空与外界大气阻隔开,在工作状态下阀体打开利用负压将污物抽走,设计一款可靠、实用的真空界面阀对整个真空排污系统非要重要,本文设计一款夹管型橡胶真空界面阀,利用橡胶材料的拉伸实验数据,确定橡胶材料的本构模型,导入ANSYS Workbench中对橡胶阀体进行有限元分析,确...

  • 真空泵微小抽速测试方法研究进展与分析

    作者:李海涛; 郭美如; 张世伟; 成永军; 任正宜; 吴成耀 刊期:2019年第12期

  • 螺杆真空泵单头型线变双头方法研究

    作者:刘明昆; 刘星洲; 汪亮; 柴晓彤; 干蜀毅 刊期:2019年第12期

    针对目前发展较为成熟的单头转子型线动不平衡问题,提出了一种将单头转子型线变为双头对称型线的方法。总结了该方法所适用的单头转子型线所需满足的条件,并用数学方法证明了所得到的双头型线能够正确啮合。定性分析计算了型线从单头变为双头后面积的变化,并以特定单头型线为例,计算了型线面积利用系数的变化。将特定单头型线变换得到对应的双头...

  • 空间站舱外泄漏羽流场数值模拟与解析解研究

    作者:花雨; 毕海林; 孙伟; 孙立臣; 孟冬辉; 王旭迪 刊期:2019年第12期

    密封性能在保证空间站正常运行中极其重要。本文针对空间站运行过程中可能发生的舱外氨气泄漏,建立了太空真空环境中气体分子运动的物理模型,运用直接蒙特卡洛模拟方法对泄漏到太空中的气体羽流场进行数值模拟,得到羽流场的气体密度分布规律,并通过求解无碰撞的玻尔兹曼方程得到羽流场粒子密度分布的解析解,最后验证了解析解的正确性,以期为未来...

  • 快速响应压力敏感涂料近真空校准特性研究

    作者:吴靖 刊期:2019年第12期

    快速响应压力敏感涂料(PSP)能在低气压条件下迅速响应微小压力变化。对由相同发光分子PtTFPP和不同基层的两种快速响应PSP进行了近真空环境中的稳态校准及特性对比,校准结果显示以高透氧聚合物poly(TMSP)为基层的PSP压力灵敏度和温度敏感度分别为44.0%/kPa和10.29%/K,优于以聚合物-陶瓷(PC)为基层的PSP,更适合近真空环境中的压力测量。验证了带...

  • 特大型超高真空排气台的研制

    作者:边悦; 刘春艳 刊期:2019年第12期

    为满足中科院高能物理研究所环型正负电子对撞机项目650 MHz/800 kW连续波速调管的超高真空排气需要,北方华创真空研制了由无油干泵和磁悬浮分子泵作为预抽系统,溅射离子泵作为主抽系统的特大型超高真空排气台。设备以温度和真空度作为主要工艺参数,对尺寸达到Φ1600 mm×5000 mm的连续波速调管进行高温真空烘烤排气,极限真空度优于8.0×10^-8 Pa;...

  • 车载抬头显示光学系统塑料元件反射膜的研制

    作者:刘冬梅; 刘文成; 付秀华; 张静; 岳鹏飞; 李爽 刊期:2019年第12期

    为了提高抬头显示系统中投影镜和反射镜的耐环境性和光学性能,以聚碳酸酯(PC)作为基底,采用电子束蒸发技术,使用过渡层和连接层技术以及渐增式离子源工艺,解决了薄膜与基底的附着力问题;利用真空退火,改善了环境测试过程中薄膜的膜裂现象;通过调节最外层SiO2的离子源工艺,改善了水煮测试过程中薄膜因水汽渗透而导致的反射率下降的问题。制备了耐...

  • 银靶电流及溅射偏压对溅射沉积Cu/Ag薄膜导电性能的影响研究

    作者:张丽俊; 田武; 常勇强; 任伟宁; 张长军; 鲍明东 刊期:2019年第12期

    磁控溅射技术制备有望作为电接触材料的Cu-Ag薄膜的工艺探索。利用方块电阻仪测试薄膜电阻,借助白光干涉仪和扫描电镜分析不同电流和不同偏压下粗糙度、薄膜厚度、Ag含量及微观结构对薄膜电阻影响规律。结果表明:不同银靶溅射电流下,Ag含量及微观结构为影响薄膜面电阻的主要因素,Ag含量低于18.13%(原子比)时膜中Cu-Ag固溶体相占比增大,这可能是...

  • Ga2O3薄膜的常温磁控溅射制备对其结构及光学特性的影响

    作者:邵雨; 蔡长龙; 杨陈 刊期:2019年第12期

    本文通过常温射频磁控溅射在单抛硅片和石英玻璃基底上溅射制备Ga2O3薄膜。采用分光光度计和椭偏仪测试薄膜的紫外光波段的透过率、折射率和光学吸收,利用X射线光电子能谱(XPS)测试了不同氧气氛下Ga2O3薄膜中氧元素的化学价态及其含量,X射线衍射(XRD)测试和拉曼散射光谱测试研究退火对薄膜生长及晶相结构的影响,采用微控四探针测试仪测试了薄膜...

  • 一种提高行波管效率的耦合结构小型化设计

    作者:曹林林; 肖刘; 尚新文; 王自成; 黄明光 刊期:2019年第12期

    作为微波功率模块的核心部件,行波管被广泛应用于通信、雷达以及电子对抗等众多军事装备系统中。为解决行波管小型化、高效率的技术难点,针对某X波段螺旋线行波管的输能耦合结构开展小型化研究。采用在螺旋线末端加载调配筒实现输能系统长度压缩的方法,不但可以使行波管的输入窗阻抗变换尺寸缩短33.0%;输出窗阻抗变换尺寸缩短21.4%,而且行波管整...

  • 产生大面积均匀面电子源的电子枪设计

    作者:顾运厅; 林焱剑; 闫保军; 刘术林; 杨玉真; 余洋; 温凯乐; 王玉漫 刊期:2019年第12期

    为了满足大尺寸微通道板(MCP)的性能测试和电子清刷除气处理,设计了一种电子枪,可以产生尺寸大、均匀性好、动态范围宽的平面电子源。该电子枪采用功函数较低的钽丝,加工成盘香式结构,通过外加电场,使得出射后打到微通道板输入面上的电子源束流密度可调、均匀性优于90%,12 h内的稳定性优于±0.1μA,动态范围达到7个数量级(10^-12~10^-5 A),可以实...

  • 车离合器用SPS烧结B4C颗粒增强Cu基复合材料组织和摩擦性能分析

    作者:贾清华 刊期:2019年第12期

    为了提高汽车制动性能,通过B4C颗粒增强Cu基复合材料,并对其进行放电等离子烧结(SPS)制造。采用实验测试的手段研究不同质量分数的B4C颗粒对复合材料组织和摩擦性能的影响。研究结果表明:B4C处于10%~30%范围时,未出现明显团聚;当B4C达到50%时,B4C颗粒出现团聚状态。材料密度随着B4C含量的上升而逐渐增加,通过SPS烧结,能够明显降低Cu合金的体积膨...

  • 水中脉冲电压放电形成等离子体通道模拟分析

    作者:钱杨; 冯音琦; 黄民双; 宋晓鹏 刊期:2019年第12期

    为获得水中纳秒脉冲电压下放电形成等离子体通道的发展过程,建立水中放电流体模型的数学方程,利用COMSOL软件的有限元方法求解二维轴对称情况,模拟出针-板电极之间的电场强度、电子密度、氢离子密度以及氢氧根离子密度等随时间和空间的分布,并研究脉冲电压幅值、电极间距、电导率对这些物理量以及流注形貌的影响。模拟结果表明:针电极尖端的高场...

  • 涂层组分对磁控溅射制备Ti600合金表面Ti-Al-N涂层组织微观结构的影响

    作者:邹利华; 李梦奇; 吴海江; 李冬英; 周晓燕; 宋恺心 刊期:2019年第12期

    以电弧复合磁控溅射沉积工艺在Ti600合金基体上沉积得到Ti-Al-N涂层,通过控制公转速度的方式来获得不同涂层组分,实验研究涂层组分对涂层组织微观结构的影响。研究结果表明:随着公转速度的增加,涂层内Ti/Al比表现出减小的变化。在涂层表面上形成了许多尺寸较大的颗粒与一些凹坑结构,较小Ti/Al比试样形成了少量的表面大颗粒,并得到致密组织结构。...

  • 等离子喷涂建筑用316L表面Al-Cu合金粉末涂层组织及性能分析

    作者:罗小虎; 王刚 刊期:2019年第12期

    选择等离子喷涂工艺在建筑用316L表面上制得Al-Cu涂层、SrAl2O4与SiO2包覆SrAl2O4掺杂Al-Cu涂层,实验测试分析涂层组织结构,力学性能以及涂层摩擦磨损性能。研究结果表明:SrAl2O4掺杂涂层形成凹坑结构,SiO2包覆SrAl2O4掺杂涂层形成致密平整结构。SrAl2O4和SiO2包覆SrAl2O4掺杂涂层形成良好界面。基体具有最低的硬度,按照Al-Cu、SrAl2O4、SiO2包...