摘要：滑片式真空泵的排气量偏小、抽气速率低限制了其应用场合。本文利用正弦螺旋线提出了一种新型的三腔滑片式真空泵,并对其工作性能进行了理论与试验研究等几何尺寸下,三腔滑片式真空泵相比双腔简谐结构形式排气量可提高37%;三腔滑片式真空泵的抽速可达1 L/s,极限压强能够达到13 kPa。三腔滑片式真空泵的抽速更快,缩短了滑片式真空泵达到指定压强的抽气时间,很好地验证了理论模型。对于开发新产品具有重要的参考价值。

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