摘要：在Spindt场发射阴极制作工艺流程中，剥离层对于形成良好的发射尖锥形状至关重要，同时它也是实现阴极阵列中尖锥均匀性的关键因素。本文研究了几种常用的剥离层材料包括金属铜，A1203以及水溶性的NaCl和r％c03。实验表明NaCl和r％c03用作剥离层，可以被去离子水迅速、容易地去除，并同时实现很好的腐蚀选择性。但用这些水溶性材料得到的发射尖锥形状不很规则且表面粗糙，由此也会带来整个阴极阵列上尖锥的不均匀性。使用鸽03作为剥离层则较为理想，可以得到光滑的栅极收口和很好的尖锥阵列。但传统用来腐蚀A1203的热H3P04，对于加热制作的A1203剥离层腐蚀较为困难。尝试了使用基于NaOH的腐蚀液来剥离加热她03层，通过严格的工艺参数控制，如腐蚀液浓度和刻蚀时间，可以制作出质量较好尖锥发射体阵列。

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