摘要:定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准,可采用定容法和流导法对气体微流进行校准,校准范围为(5×10-2~5×10-11)Pa·m3/s,合成标准不确定度为0.56%~1.7%.
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期刊级别:北大期刊
发行周期:月刊
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