首页 期刊 真空科学与技术学报 定容式流导法微流量校准装置 【正文】

定容式流导法微流量校准装置

作者:张涤新; 郭美如; 冯焱; 赵澜; 李得天; 赵定众; 李正海; 成永军; 李莉; 龚月莉; 孙海 兰州物理研究所; 兰州; 730000
流量计   流量校准   真空漏孔  

摘要:定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准,可采用定容法和流导法对气体微流进行校准,校准范围为(5×10-2~5×10-11)Pa·m3/s,合成标准不确定度为0.56%~1.7%.

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