摘要：为提高微波无极灯光氧设备对工业恶臭气体的处理效能,本文设计了一种多模谐振腔体,并仿真分析了灯管在谐振腔体中位置变化对灯管内激发态原子Hg63P1、Hg61P1摩尔浓度的影响。通过COMSOL软件对微波等离子体进行多物理场仿真,得到了一种能够产生高Hg63P1、Hg61P1摩尔浓度的无极紫外灯布局,为微波无极灯光氧设备的设计提供理论指导。

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