摘要：本文基于近场扫描微波显微镜的基本原理,搭建了一套高效测量石墨烯薄膜材料电磁特性的系统。近场扫描微波显微镜是利用探针靠近样品时,记录谐振腔的品质因数或谐振频率的偏移量,然后通过软件仿真探针样品模型的方法得到样品的介电常数、电导率等物理量,以非接触的方式无损表征了石墨烯薄膜的材料特性。

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