摘要：设计了一套硅片专用真空夹紧装置,包括夹紧装置和微型无油真空抽气泵.为减少硅片在夹紧过程中变形,夹紧装置采用了多吸口、回旋槽的平面型结构;根据所需夹紧力大小,设计了抽速为0.3 L/s的微型真空泵,泵内无油避免了对硅片的污染;对间隙返流进行了计算并分析了对泵性能的影响;对气路进行了特殊设计使得硅片装卸方便、快捷.

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