摘要：真空装置门体运动机构可靠性是影响真空装置可用性的关键因素,针对新型的真空装置门体运动机构,本文在故障模式分析的基础上,建立了运动机构故障树模型,进行最小割集分析,对故障树进行了定性和定量分析,发现门体运动机构的系统可靠性薄弱环节,对门体运动机构系统设计和加工提出相应优化改进建议。

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