真空

真空杂志 统计源期刊

Vacuum

杂志简介:《真空》杂志经新闻出版总署批准,自1964年创刊,国内刊号为21-1174/TB,是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份双月刊,致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目:真空应用、真空获得与设备、薄膜、测量与控制、真空冶金与热工、真空技术应用系列讲座、信息

主管单位:中国机械工业集团有限公司;沈阳真空技术研究所有限公司
主办单位:中国机械工业集团有限公司;沈阳真空技术研究所有限公司
国际刊号:1002-0322
国内刊号:21-1174/TB
全年订价:¥ 408.00
创刊时间:1964
所属类别:工业类
发行周期:双月刊
发行地区:辽宁
出版语言:中文
预计审稿时间:1-3个月
综合影响因子:0.46
复合影响因子:1.38
总发文量:1486
总被引量:4411
H指数:21
引用半衰期:6.1875
期刊他引率:0.7813
平均引文率:9.131
  • 激发真空态

    作者:薛增泉 刊期:2017年第06期

    至今人类社会进入了科学发展的又一个新时代,真空科学在科技前沿发展中具有特殊作用。本文从真空科学新发展机遇出发,讨论真空科学的有关概念:真空态、真空零点能、Casimir效应、负能量等。这些都是当今真空科技术发展的前沿,有成为科学发展生长点的可能。

  • 不锈钢基Ti/ta-C复合膜沉积与热应力研究

    作者:陈长琦; 何涛; 王国栋; 张心凤 刊期:2017年第06期

    ta-C薄膜是性能优良的耐摩擦超硬薄膜,但其残余应力过大问题严重影响了其力学性能及实际应用。根据脉冲磁过滤多弧离子镀沉积ta-C薄膜的工艺,进行了膜系设计并沉积制备出以不锈钢为基底的Ti/ta-C复合膜。通过有限元方法,建立数值计算模型,研究了薄膜热应力与膜层厚度、基底厚度和沉积温度等参数变化的规律,得到Ti/ta-C复合膜的热应力分布,模拟与...

  • NiCoCrAlYHf涂层材料的1200℃高温氧化行为

    作者:蔡妍; 李建平; 何利民; 刘玉琢; 牟仁德 刊期:2017年第06期

    本文研究了采用精密铸造成型技术制备的NiCoCrAlYHf涂层材料在1200℃高温氧化行为。对于涂层材料试样进行了1200℃循环抗氧化实验,来评价其抗氧化性能,通过扫描电镜分析氧化后的试样显微形貌,用X-射线衍射仪分析涂层材料的相结构,通过氧化速率对涂层材料抗氧化性能进行表征。试验结果表明:NiCoCrAlYHf涂层材料在1200℃的循环氧化寿命大于300h;...

  • 多功能热丝化学气相沉积金刚石涂层制备设备的研制

    作者:刘鲁生; 张珂; 王贺; 陈晓东 刊期:2017年第06期

    根据国内热丝化学气相沉积金刚石制备设备现状现状,结合HFCVD法制备金刚石薄膜原理,研制多功能热丝化学气相沉积金刚石涂层制备设备。

  • (Al,Ti)N涂层力学性能工艺研究

    作者:左伟峰; 赵广彬; 程玺儒 刊期:2017年第06期

    通过磁控溅射离子镀与中频脉冲偏压电源相结合,优化制备(Al,Ti)N涂层的工艺。利用HVS-1000数显显微硬度计检测涂层硬度;MET-400多功能材料表面试验仪测定膜基结合力,JS-QHY-2型球痕仪测定厚度,DX-1000型X射线衍射仪检测物相。采用正交实验,作算术平均值和极差分析,优化制备涂层的工艺。结果表明波动时,最佳工艺为功率为10:24,脉冲偏压为100V,...

  • 真空镀膜机简易上盘结构的设计

    作者:吴会营; 郭素娜; 刘旸 刊期:2017年第06期

    十多年来,在使用真空镀膜机专用上盘车的过程中,发现其生产使用成本比较高、适用机型范围和使用场地的局限性等问题。针对该类问题,分析上盘车主要的性能要求,进行优化设计,研制一种简易的上盘结构。新设计的结构,结构简单,使用方便,制造成本低,生产场地节约明显,适用机型范围更广,操作省时省工,生产效率提高。实践验证,该结构性能满足使用要求,...

  • 直流磁控溅射制备(Ti,Al)N薄膜研究

    作者:张月; 张桂如; 马丽华; 张帅拓; 张盼盼; 赵志方; 党森; 丁龙先 刊期:2017年第06期

    本研究采用直流磁控溅射的方法在W 18Cr4V高速钢基体上制备不同Al/Ti比例的(Ti,Al)N薄膜,为此,在圆柱形磁控溅射Ti靶表面上,采用多弧离子镀技术覆盖不同面积和一定厚度的纯Al,结果表明:只有在靶材的外表面Ti与Al的交界附近的样品才能沉积成薄膜,随着靶材表面覆盖纯A l的面积增大,所形成的结晶薄膜中的Al/Ti比例增大,膜层中的相组成AlN的数量...

  • 高阻高透CN薄膜的性能研究

    作者:沈洪雪; 金克武; 杨勇; 姚婷婷; 李刚; 马俊 刊期:2017年第06期

    以高纯石墨为靶材,采用射频磁控溅射法在不同工艺条件下制备了一系列高电阻、高透过率的CN薄膜。利用扫描电镜(SEM)、高阻抗率计、分光光度计对样品的表面形貌、电阻率和透过率进行了表征。结果表明,各种工艺条件下制备的CN薄膜都已初具晶型;薄膜生长状态良好,与基底结合较紧密;所制备的CN薄膜电阻率和透过率均可在一定范围内变化,能较好的满...

  • 柔性基体表面原子层沉积Al2O3薄膜研究进展

    作者:魏海英; 郭红革; 周美丽; 陈强 刊期:2017年第06期

    随着机械、光学、微电子和纳米科技等领域的发展,在柔性基体上如聚酯(PET)、聚乳酸酯(PLA)、聚酰亚胺(PI)等聚合物表面沉积Al2O3薄膜作为阻挡层、介电层、钝化层的研究也越来越多。无机Al2O3薄膜因其机械强度与硬度高、光学性能优良、透明性高与绝缘性好、耐磨、抗蚀及化学惰性等特点引起人们的极大兴趣。较传统薄膜制备技术,原子层沉积(...

  • 第十六届全国干燥会议在常州举行

    作者:徐成海 刊期:2017年第06期

    第十六届全国干燥会议于2017年10月26-28日在常州举行,参加会议的有来自大专院校、研究机关、公司、工厂的代表120余人,会议论文集收集论文50余篇,论文内容包括:干燥过程基础理论、干燥工艺与装备、新型干燥技术、生产部门的干燥过程、干燥相关技术等。其中大会报告6篇,评选优秀论文6篇。由承办单位常州范群干燥设备有限公司董事长范炳洪先生,...

  • 关注计量技术前沿,推动行业快速发展——510所承办中国计量测试学会真空计量专业委员会第十五届年会暨中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第年会

    刊期:2017年第06期

    2017年9月13日-15日,中国计量测试学会真空计量专业委员会第十五届年会暨中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第年会在无锡成功召开。本次会议由中国计量测试学会真空计量专业委员会、中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会、真空技术与物理国防科技重点实验室、江苏省真空学会共同主办,并由510所、国防科技工业真空一级计量站、

  • 太空旅游燃热点 科普教育新突破——510所《载人航天与太空旅游》正式出版

    刊期:2017年第06期

    2015年5月,由510所李得天研究员等编著的《载人航天与太空旅游》一书由甘肃科学技术出版社正式出版。《载人航天与太空旅游》全书22万字,作为《科技新生活》科普丛书中之一,是510所近年来出版的第一本主要面向青少年的科普图书。本书抓住了太空旅游这一新的、容易引发青少年兴趣的热点,通过讲故事的形式,以图文并茂的表达方式,介绍了飞向太空的...

  • 真空领域又一部大型工具书——《真空工程设计》出版发行

    刊期:2017年第06期

    由航天科技集团兰州空间技术物理研究所刘玉魁任主编,杨建斌、肖祥正为副主编,闫格、石芳录、柏树、魏迎春、刘伟成、颜昌林、高俊旺、张英明参加编写的《真空工程设计》一书已由化学工业出版社出版发行。《真空工程设计》是近十几年来国内真空领域又一部大型工具书,内容丰富,资料新颖,文字精炼,信息量大,全面系统地反映出现代真空工程设计的新...

  • 动态相对法真空标准装置简介

    刊期:2017年第06期

    动态相对法真空标准装置(如图所示)为沈阳真空技术研究所、国家真空设备质量监督检验中心研制,主要技术指标均达到国内先进水平,并通过了中国计量科学研究院考核,具有校准范围宽,气体动平衡稳定性好等特点。主要用途:用于企业、计量部门的各类真空计校准。校准范围:1×10~(-4)Pa~1×10~5Pa。国家真空设备质量监督检验中心地址:

  • 便携式动态相对法真空标准装置简介

    刊期:2017年第06期

    便携式动态相对法真空标准装置(如图所示)为沈阳真空技术研究所、国家真空设备质量监督检验中心研制的现场校准设备,良好的解决了真空设备连续生产无法送检校准、真空计送检过程易损等问题。为用户带来更大效益与便利。