真空杂志 统计源期刊

EAST等离子体放电真空室暴露大气后的真空恢复研究

作者：万朝; 余耀伟; 胡建生; 龚先祖 刊期：2016年第05期

洁净的壁条件和良好的真空环境是托克马克装置运行的基本条件,但是真空室暴露大气后会在器壁表面吸附大量的杂质,如何快速恢复良好的真空环境以及壁条件是关系到托克马克运行效率和成本的一个关键问题。本文深入分析了EAST 2015年夏季实验期间真空室两次暴露大气后的壁处理对真空条件的恢复,结果显示水汽是真空室暴露大气后的主要杂质成分,直流...

微通道板(MCP)的真空出气性能研究

作者：郭迪舟; 马永胜; 刘佰奇; 刘术林; 宋洪 刊期：2016年第05期

本文介绍了采用动态法测量铅硅酸盐玻璃微通道板（MCP）未烘烤和高温烘烤后的出气特性,通过整理实验数据得出MCP的出气速率曲线。得出未经烘烤处理的MCP常温出气率最大为3.99×10-7Pa·L/s·cm2左右。经过430℃24小时烘烤冷却后,最大为1.86×10-8Pa·l/s·cm2左右。从实验数据看出其有一定的吸气效果。对残余气体谱图进行分析,发现其易受碳氢化合物或...

无油涡旋真空泵内部流场的数值模拟

作者：李博睿; 张兴; 杨广衍 刊期：2016年第05期

在深入理解无油涡旋真空泵的工作原理基础上,对真空泵的主要部件进行三维实体造型,划分了若干月牙形工作压缩腔在不同角度的二维图,作为分析的控制容积。结合真空泵压缩腔的特点建立一系列控制方程,并对建立的数学模型进行了合理的简化和条件假设。利用FLUENT模拟真空泵内部流场,并对模拟结果进行了的分析和研究,得出无油涡旋真空泵内部流场的分...

上海汇翌实业有限公司简介

刊期：2016年第05期

HL-2M内置式低温泵基于DSMC方法的抽速计算

作者：李勇; 张志军; 邱银; 卢勇; 李强 刊期：2016年第05期

作为托克马克装置HL-2M的大型低温泵,必须确保其具有足够的抽速和较好的抽气性能。通过直接模拟蒙特卡洛方法的研究表明,HL-2M内置式低温泵在高真空分子流条件下的对H2的抽速为51.29 m3/s,对He的抽速为24.94m3/s,对D2的抽速为38.04m3/s;裸泵与带有偏滤器结构的抽速对比表明,偏滤器的结构使得低温泵的抽速下降很多,应该在允许的条件下,进一步优化...

动态相对法真空标准装置简介

刊期：2016年第05期

便携式动态相对法真空标准装置简介

刊期：2016年第05期

二氯甲烷真空回收系统的研制

作者：薛钢涛; 李殿东 刊期：2016年第05期

本文详细介绍了二氯甲烷真空回收系统,分析了采用爪式无油真空泵/罗茨泵真空机组抽取二氯甲烷的原理,比较了与水环泵抽取二氯甲烷所具有的优点,首先,二氯甲烷可以回收,对外部环境不产生污染,同时,具有抽速快、回收率高,可获得无油、洁净的真空环境,代表了一种新型的抽除气体的方法,提高了生产效率,为以后制造类似的设备提供有效方案。

《真空~》

刊期：2016年第05期

两步溅射法制备纯铜型陶瓷覆铜板的研究

作者：陈波; 王德苗; 金浩 刊期：2016年第05期

本文提出在氧化铝陶瓷基板上,采用两步溅射铜膜的方法来制备纯铜型陶瓷覆铜板,即先在低氩气压下高能溅射形成Cu氧化物过渡层,再利用高气压下低能量的铜粒子沉积形成均匀的铜层。使用FESEM对其进行微观表征并进行拉脱强度测试,最后利用传统刻蚀方式在覆铜板上进行电路制作并用显微镜观察线路边缘形貌。研究结果表明,采用该工艺制作的陶瓷覆铜板,...

基于思维进化优化灰色神经网络在真空玻璃需求中的研究

作者：杜萍; 王磊; 王元麒 刊期：2016年第05期

由于真空玻璃需求受到多重因素的影响,传统的数据模型无法准确找寻订单变化规律,导致预测精度较低。为了提高预测精度,结合灰色神经网络模型,利用思维进化算法优化灰色神经网络,确定灰色神经网络的最优初始参数。分别利用灰色神经网络(GNN)模型和思维进化-灰色神经网络(MEC-GNN)模型,用训练好的网络预测某真空玻璃制造商订单,预测结果表明:改进...

太空旅游燃热点 科普教育新突破——510所《载人航天与太空旅游》正式出版

刊期：2016年第05期

ZrO2-CuO复合纳米粒子薄膜阻变特性研究

作者：钱昱; 邵思佳; 李建昌 刊期：2016年第05期

利用水热法在180℃下制备ZrO2-CuO复合纳米粒子（ZrCu）,XRD测试表明随CuO含量增加,样品的结晶性变好。在ITO基片上旋涂制膜,通过GaIn微滴技术测试伏安特性,研究了复合比对ZrCu薄膜电学特性的影响。结果发现,ZrCu有良好可重复的双极阻变特性,随CuO含量增加,阈值电压降低,开关比降低。ZrCu低阻态符合欧姆特性,高阻态为空间电荷限制导电机制,阻变...

中国科协 教育部 科技部 卫生计生委 中科院 工程院 自然科学基金会印发《发表学术论文“五不准”》发表学术论文“五不准”

刊期：2016年第05期

四极静电聚焦透镜在离子束溅射镀膜中的应用

作者：孙嵩泉; 葛怀庆; 王杨阳; 郭祖华; 练菊; 鞠若麟; 朱向炜 刊期：2016年第05期

离子束溅射镀膜过程中,从离子源出射的离子束具有较强的发散性。对于靶源距较大的离子束溅射应用,发散的离子束不仅会溅射其他结构表面而造成微量元素交叉污染,而且镀膜均匀性也会有影响。通过在离子源前端加装一套四极静电聚焦透镜,对出射离子束的发散性进行约束,不仅避免了交叉污染,而且膜层的均匀性也从±5%(没使用静电聚焦透镜使用)改善到±3%...