摘要：本文针对锥-筒、锥-螺旋电极结构,通过Ansoft Maxwell 3D电磁场仿真软件,分析了放电时,两种电极内部的电场分布与磁场分布。通过朗缪尔探针法,对真空放电生成的等离子体参数进行了测量,重点讨论了电极内部磁场对等离子体生成密度的影响。在上述讨论的基础上,针对锥-螺旋电极,进一步分析了螺旋电极的螺距对电极间的电磁场分布及等离子体生成和传播特性的影响。实验及仿真结果表明,锥-螺旋电极较传统的锥-筒电极,可以获得较高密度的金属等离子体。放电电流在螺旋状电极内部产生的磁场,对向四周扩散的等离子体有一定的约束作用,适当减小螺旋电极的螺距,既可以增大阴极尖端的电场强度,同时可以有效增大螺旋电极内部的磁场强度,更易于在电极轴向获得更高密度的等离子体。

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