杂志简介：《真空》杂志经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为21-1174/TB，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份双月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：真空应用、真空获得与设备、薄膜、测量与控制、真空冶金与热工、真空技术应用系列讲座、信息
杂志简介：《真空》杂志经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为21-1174/TB，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份双月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：真空应用、真空获得与设备、薄膜、测量与控制、真空冶金与热工、真空技术应用系列讲座、信息
刊期：2009年第04期
据报导，对中国（不含港、澳、台1出版的期刊中，核心期刊的认定目前国内有两种比较权威的版本。一是中国科技信息研究所（简称中信所）每年出一次的《中国科技期刊引证报告》。《引证报告》是从国内的科技期刊中选出1300多种中、外文科技类期刊作为“中国科技论文统计源期刊”，2005年起分别出版核心版和扩刊版，《真空》杂志被列入核心版（见2...
作者：谢华木 廖成 焦飞 周震 韩俊峰 赵夔 陆真冀 刊期：2009年第04期
利用四元叠层硒化法制备了铜铟镓硒（缩写为CIGS）薄膜，重点分析了在叠层法制备CIGS薄膜过程中，基底温度对CIGS薄膜的晶体结构，表面形貌以及各种元素沿深度分布的影响。实验结果表明，在叠层法制备CIGS薄膜时，发现在550℃的基底温度时，不经过退火便可以生成CIGS晶体，表面Ga的含量处于比较合适的范围。而基底温度为500℃，450℃时，只能生...
作者：吉锐 唐振方 周序乐 沈娇 刊期：2009年第04期
采用硫酸盐电沉积法，利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）等手段研究了不同电沉积条件下在PI膜表面制备的Cu薄膜的晶面择优取向、平均晶粒尺寸及表面形貌。结果表明，沉积层的晶面择优取向受Cu薄膜厚度和电流密度影响，电流密度较小（0．2A／dm^2）和较大（3．5～5．5A／dm^2）时，电沉积Cu膜分别容易得到（111）和（220）晶面择优取向，...
作者：赵靖 张永爱 袁军林 郭太良 刊期：2009年第04期
利用氧离子辅助电子束蒸发沉积Ta2O5薄膜，在固定氧离子能量的条件下研究了氧离子束流密度对Ta2O5薄膜的微观结构、化学计量比和漏电流密度的影响。利用原子力显微镜和X射线衍射仪对Ta2O5薄膜微观结构进行表征研究，发现随着离子束流密度增大，沉积的Ta2O5薄膜致密性提高，粗糙度下降，但薄膜一直保持非晶态；同时能谱仪测试的结果表明，薄膜中O...
作者：方广志 李合琴 沈洪雪 宋泽润 刊期：2009年第04期
用磁控反应溅射法在玻璃和钼片衬底上制备VOx/TFiOx／Ti多层薄膜。用X射线衍射（XRD）、QJ31单臂电桥、薄膜内耗仪等测试了薄膜的晶体结构、电阻、内耗。分别进行了薄膜的制备工艺与内耗研究。测试分析结果表明：试样的晶体结构、电阻-温度曲线、杨氏模量的突变均表明多层薄膜在66℃左右发生相变。样品的电阻温度系数为-4．35％/℃。并且真空退...
作者：黄晓辉 左秀荣 王齐伟 史新伟 李广钦 刘凤芹 刊期：2009年第04期
为有效提高3003铝箔表面光泽度、比面积及强硬度，采用直流反应磁控溅射的方法，在一定溅射参数条件下，选用高纯钼靶和钛靶对3003铝箔进行溅射实验，分别在铝箔表面主要沉积出AlMo3、Al3Mo薄膜和TiAl、（Ti，Al）N薄膜，利用X射线衍射、扫描电镜分析相组成及微观组织结构，并测试了显微硬度和薄膜厚度，实验结果表明：制备出的AlMo3、Al3Mo薄膜...
作者：谢红梅 聂朝胤 刊期：2009年第04期
采用电弧离子镀技术在45#钢衬底表面沉积了TiN薄膜。用显微硬度计测试了薄膜的硬度，用球一盘式摩擦磨损试验机评价了在不同测试条件下（干摩擦，水润滑，油润滑）TiN薄膜的摩擦学性能，用表面轮廓仪测试了磨痕处的磨痕轮廓，用配有能谱仪（EDS）的扫描电镜（SEM）观察和测试了磨痕形貌和磨痕处主要化学元素组成。结果表明，相对于干摩擦，水润...
作者：李城钰 齐京 陈旭 刊期：2009年第04期
为确保小尺寸超高真空密封器件的高可靠和长寿命，开发了一种带非蒸散型吸气剂的微型复合离子泵（Mini—Combination Ion Pumps with NEG）。在新建的微型离子泵性能测试系统上，研究了非蒸散型吸气剂对器件存储和微型离子泵启动特性的影响。模拟了微型离子泵与小型真空器件集成为一体时可能遇到不同气体负载时的实际情况，讨论了新结果的可能应...
刊期：2009年第04期
据权威消息：名为《真空世界》杂志社是未经新闻出版局批准的组织。《真空世界》所刊登的广告是典型的固定形式印刷品广告（DM），DM不得刊登除广告以外的新闻报导等内容；不得具有图书、报纸、期刊等出版物特征；不得使用主办、协办、编辑部、编辑、本刊、杂志、专刊等字样；统一标识为“DM”。
刊期：2009年第04期
[商报讯]，近年，我国固定形式印刷品广告发展较快，但社会上对固定形式印刷品广告的认识仍存在一定的误区，“DM”杂志、“DM”期刊等不规范的称呼时常出现，扰乱了正常的报刊市场。
作者：陈长琦 汪明明 张建国 胡纯栋 谢远来 刘智民 NBI组 刊期：2009年第04期
活性炭是NBI低温吸附泵吸附面的关键组成部分，其性能是决定NBI低温泵抽气性能的关键因素之一。本文选取JX－6型椰壳活性炭，用全自动比表面积及孔径分析仪（ASAP2020）在液氮温度下对其性能进行了测试，并对实验数据进行了分析。实验结果表明，该活性炭具有良好的孔隙结构和较强的吸附性能，其最大吸附量达到252cm^3／g STP。为进一步研究NBI低...
作者：李亮 曹建勇 罗萃文 姜韶风 邹桂清 卢大伦 雷光玖 刊期：2009年第04期
为满足HL-2A中性束加热的需求，我们为HL-2A的NBI注入器研制了脉冲送气回路及其控制系统，系统的核心流量控制部件为PEV-1压电晶体阀，主要是根据气压测量结果调整压电阀电源输出脉冲电压波形来控制压电阀的流导。为克服了压电阀性能参数离散，对不同离子源的送气回路进行了单独标定。送气实验结果表明，离子源放电室气压控制精度达到了O．05Pa...
作者：王烨 李秋霞 杨斌 马文会 蒋文龙 戴永年 刊期：2009年第04期
利用新的热力学研究方法一“物质吉布斯自由焓函数法”对不同压力下三氧化二铝生成低价一氯化铝及低价一氯化铝分解进行热力学条件的简化计算。研究得出：在100kPa时，三氧化二铝在有还原剂碳存在下与三氯化铝反应需在2069．75K以上才能生成低价一氯化铝，而当系统压力在100～10Pa内时，温度在1294．49～1374．79K以上就可以生成低价一氯化铝；...
作者：张今 周国燕 郭柏松 郭堂鹏 刊期：2009年第04期
本文根据冻干过程干燥室内的露点值和物料的水分含量有关提出一种新的方法——露点法来监控冻干过程物料的水分迁移情况。以浓度为2％（W/V）的甘露醇（冻干保护剂）为研究对象，分别取80个，160个，20个小瓶，通过不同的过充小瓶数（1个，2个），不同的溶液高度（溶液高度6．5mm，0．32mm）来检验露点法在监测整批样品冻干过程的灵敏性。与称重...
作者：冯焱 张涤新 成永军 卢耀文 赵澜 赵光平 徐婕 刊期：2009年第04期
针对目前正压漏孔校准工作中存在的测量下限指标低、测量不确定度大等问题，提出了正压漏孔校准装置的优化设计方法。采用特殊设计，将定容室的容积减小到10mL以下，降低了气体累计时间，延伸了测量下限。采用主、被动相结合的恒温方法提高恒温精度，使得测量系统温度变化在校准时间内小于0．02K，减小了温度漂移引入的虚流量及测量不确定度。在...
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