真空杂志 统计源期刊
Vacuum
杂志简介：《真空》杂志经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为21-1174/TB，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份双月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：真空应用、真空获得与设备、薄膜、测量与控制、真空冶金与热工、真空技术应用系列讲座、信息
杂志简介：《真空》杂志经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为21-1174/TB，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份双月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：真空应用、真空获得与设备、薄膜、测量与控制、真空冶金与热工、真空技术应用系列讲座、信息
作者：杨乃恒 巴德纯 王晓冬 刘坤 于治明 刊期：2009年第03期
为了满足目前一些读者的需要，我们较系统地介绍了前苏联这方面的有关资料（文中保留原使用单位Tort，1 Torr=133Pa）。内容有电炉真空系统计算的理论基础与计算方法及有关数据，最后给出真空感应炉、真空电阻炉、真空电弧炉和电子轰击炉真空系统的计算实例。这些数据和方法，对开发、研制各种真空电炉时，计算真空系统有一定的参考价值。
作者：张乃禄 张嘉 尹中荣 徐竟天 刊期：2009年第03期
真空退火是钛、锆等稀有金属及合金材加工的重要工艺过程，真空退火炉的真空度、控温精度和温区均匀性要求越来越受到人们的重视。针对大型钛、锆管材真空退火炉的工艺和控制要求，采用研华工控机（IPC）为上位机，可编程控制器S7—300（PLC）和可编程温度控制仪Eurotherm3504作为下位机，构成IPC＋PLC＋智能仪表控制系统（DCS），提出自整定Fuz...
作者：吴忠振 朱宗涛 巩春志 田修波 杨士勤 李希平 刊期：2009年第03期
高功率脉冲磁控溅射技术（HPPMS）作为一种溅射粒子离化率高、可以沉积致密、高性能薄膜的新技术已经在国外广泛研究，但在国内尚未见研究报道。本文介绍了近十年来HPPMS技术在电源、脉冲形式、放电行为和薄膜沉积等方面的研究进展。在HPPMS过程中，粒子随脉冲开关通过电子冲击和电荷交换电离，并按照双极扩散理论向基体附近传输，离子能量分布...
作者：方立武 王永彬 何鹏 李志胜 刊期：2009年第03期
本文介绍了新型的等离子体束溅射镀膜机的系统组成、特点、试验结果等内容。该镀膜机将等离子体发生和控制技术应用于溅射镀膜中，克服了磁控溅射的靶材利用率低及难以沉积铁磁性材料的缺点。使用该镀膜机成功地进行了溅射镀膜的试验，试验结果得到了刻蚀均匀性较高的靶材，其靶偏压与靶电流的关系与国外结果相吻合。
刊期：2009年第03期
应广大学员强烈要求，东北大学将于2009年8月15日～23日举办全新改版的第六期《真空技术》培训班。现面向全国招生。自1958年创办全国第一个真空技术及设备本科专业以来，东大真空现已成为全国唯一的具备本、硕、博学位授予权和博士后流动站的真空特色专业。作为中国真空人才的摇篮地，东大真空一直密切关注真空行业整体发展的原动力，致力于推...
作者：靳慧智 史新伟 陈林峰 姚宁 张兵临 王新昌 刊期：2009年第03期
化学气相沉积的金刚石薄膜通常是一种表面粗糙的多晶薄膜，其摩擦系数相对于单晶金刚石明显偏高，制约着其在摩擦学领域的应用。本文介绍了近年来国内外学者为提高金刚石薄膜摩擦学性能而进行的探索研究及其发展现状。简要分析了影响金刚石薄膜摩擦学性能的主要因素，并提出金刚石薄膜应用于摩擦学领域需要重视解决的几个问题。
刊期：2009年第03期
《中文核心期刊要目总览》编委会郑重通知：依据文献计量学的原理和方法，经研究人员对相关文献的检索、计算和分析以及学科专家评审，《真空》入编《中文核心期刊要目总览》2008年版（即第五版）的核心期刊。该书定于2008年12月由北京大学出版社出版。
刊期：2009年第03期
《第十届国际真空展览会》将于2009年5月19～22日在北京国际会议中心隆重举行。 为了回顾和展示国际真空展览会近二十年的发展历程，本届展会将制作《国际真空展览会回顾》宣传片，在展览会上滚动播放，并发给各参展单位。欢迎各单位及个人积极提供有关各届真空展的图片和影像资料（请注明是哪届真空展）。
作者：江伟 王怡 邢光建 武光明 李东临 刊期：2009年第03期
采用射频磁控溅射的方法制备Zn掺杂TiO2薄膜，用XRD、SEM和UV—Vis分别表征TiO2薄膜的晶体结构、表面形貌及其紫外一可见光吸收谱。并用此材料制备Au／Ti02／Au结构MSM光电导型薄膜紫外光探测器，研究其光电特性。实验结果表明，Zn掺杂TiO2紫外探测器在250nm、5V偏压紫外光照下光电流约为500μA，其响应度为100A厢，平均暗电流约为0．5μA；由于Zn...
刊期：2009年第03期
据科学网2009年1月6日报道，天津滨海新区的国家863铜铟镓硒薄膜太阳电池中试基地工艺设备与大面积材料和器件开发取得了进展，成功研制出有效面积为804m^2的玻璃衬底铜铟镓硒薄膜太阳电池组件，其光电转换效率为7％。
作者：程春晓 陈林峰 张永胜 刊期：2009年第03期
使用直流磁控溅射装置，通过在溅射过程中加入不同的金属网格，300℃条件下在玻璃衬底上制备了不同晶粒尺寸的TiO2薄膜。利用X射线衍射谱（XRD）、场发射扫描电子显微镜（SEM）对薄膜的结构和表面形貌进行了分析，并使用紫外一可见分光光度计研究了TiO2薄膜的透射和吸收光谱。研究结果表明：金属网格在磁控溅射过程中能有效减小TiO2薄膜的晶粒尺...
刊期：2009年第03期
上海德英真空为您提供国家专利产品真空泵停机后永不返油 本产品系旋片式有油真空泵，能在极短的时间内，获得极高的真空极限。在使用中，不用电磁阀，无论出现电路故障还是机械故障，即使是人为操作不当等引起的一切停机，真空泵油不会倒吸（即不返油）。值得一提的是，该产品为国内首创，独一无二，它可为您超断续工作，按需启动、关机，为您...
作者：张义邴 柯一青 周迪帆 顾锦模 李明 朱红妹 钟敏建 刊期：2009年第03期
由于薄膜生长均匀、沉积速率和膜厚易控、可制备大面积薄膜等特点，电子束沉积技术在超导薄膜、多层巨磁阻薄膜、超晶格薄膜中得到了深入研究。电子束沉积技术的关键是其薄膜生长和控制系统。本文基于微型计算机DA和IEEE488接口技术，报道了一种全自动超高真空电子束蒸发薄膜生长系统，自动化程度高，使用方便，名义薄膜厚度测量分辨率可达0．1A...
作者：王骥 王玲 吴金华 胡建生 王小明 刊期：2009年第03期
本文介绍了在核聚变装置中广泛应用的压电晶体阀的工作原理，并通过搭建试验平台模拟我国第一个全超导托卡马克核聚变装置EAST试验时的真空环境，来准确计算试验条件下的压电晶体阀的气体流量率，从而为核聚变试验及等离子体的仿真计算提供可靠的试验数据。
刊期：2009年第03期
吴江市永达石油化工有限公司于一九九九年九月正式投资运行，主要产品为“日大”牌系列真空用油。产品由优质原料油经深度精制而成，产品各项性能指标均已达到国家质量标准要求，并已通过苏州市产品质量监督检验中心的多项检测，是替代进口的理想产品，得到上海曙光机械厂、广东创高真空工艺设备厂等用户的一致好评。
影响因子：0.36
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发行周期：月刊
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发行周期：双月刊