真空杂志 统计源期刊

先进表面工程技术发展前沿

作者：闻立时; 黄荣芳 刊期：2004年第05期

先进表面工程技术是当代材料科技、真空科技与高科技的交叉领域和发展前沿，成为现代高新技术领域和先进制造业的重要前沿之一，在高性能防护涂层和功能薄膜方面应用广泛。本文综述了先进表面工程的发展趋势、工艺过程及其新进展与当代科技架构的关系以及先进表面工程技术的产业化。文章最后强调指出，在先进表面工程技术中采用远离平衡态镀膜技...

中国真空学会申办2010年第18届国际真空大会获得成功

刊期：2004年第05期

每三年举办一次的《国际真空科技大会》(The International Vacuum Congress，简称IVC)是“国际真空科技与应用联盟”(IUVSTA)组织的科技水平最高、参加会议人数最多的大型国际学术会议。参加会议的代表和随行亲属人数高达2000人，还包括大型真空技术仪器设备展览会。由于举办IVC科技水平高，参加人

第二届真空获得与测量及真空油、脂应用技术培训班将在上海举办

刊期：2004年第05期

为了普及真空应用知识，提高真空应用领域内的企业管理人员、技术人员、维修和操作人员及经销商的真空应用实践水平，由中国真空网、上海市真空学会真空设备专委会和真空应用专委会联合举办的第二届真空获得与测量及真空油、脂应用技术培训班定于2004年10月14—20日在上海举办。

首届农产品、食品保鲜技术培训班将在无锡举办

刊期：2004年第05期

中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议将在杭州召开

刊期：2004年第05期

中国真空学会五届十一次常务理事会议在北京召开

刊期：2004年第05期

2004年9月9—11日中国真空学会在北京召开了五届十一次常务理事会，出席会议的有常务理事王西龙、王树理、江南、刘炳坤、刘鸿飞、达道安、杨乃恒、邵公田、沈先锋、庞世瑾、查良镇、姜燮昌、袁磊、黄本诚、张群、靳毅、韩阶平、董元昌、蒋迪奎、薛增泉等。何炜、高本辉因病分别由陈旭、谭宁代表；于溥、赵晋荣因事分别由李春影、谭效云代表；费...

强流金属蒸汽真空弧离子注入机通过省级产品质量监督检验

作者：周宗仁 刊期：2004年第05期

纳米TiO2薄膜的应用机理研究

作者：王贺权; 巴德纯; 沈辉; 汪保卫; 陈达 刊期：2004年第05期

纳米TiO2薄膜是近几年才发展起来的一种新型材料。本文介绍了TiO2的三种晶型和它们的物理参数及性质，并对纳米TiO2薄膜在光催化、光降解，新型太阳电池，玻璃的防雾防露和减反射膜等方面的应用机理上做了进一步的研究。

溅射法低温生长纳米硅薄膜及异质结电池

作者：赵占霞; 崔容强; 赵百川; 孟凡英; 于化丛; 陈凤翔; 周之斌 刊期：2004年第05期

用射频溅射法在P型硅衬底上生长了纳米硅薄膜，衬底温度控制在100℃左右，工作气体选用H2+Ar，氢气的分压控制在31％到73％，同时改变薄膜的沉积时间。用Raman、XRD、AFM、SEM及椭偏仪对薄膜的特性进行了测定。XRD的测试结果表明，样品中存在一种微结构，不同于用PECVD方法生长的薄膜。椭偏仪的测试结果给出这种薄膜具有宽带隙。在室温条件下对...

N2、Ar气体对磁控溅射沉积掩膜铬膜性能的影响

作者：陈长琦; 王凤丹; 王君; 王旭迪; 干蜀毅; 胡新源 刊期：2004年第05期

研究了真空直流磁控溅射下分别充N2、Ar气体对铬版成膜性能的影响，对两种膜层光密度、厚度、表面微结构形貌以及成分进行测试分析，膜层成分分析表明这两种气体仅充当了工作气体；综合研究结果表明：在相同条件时，经两种气体作用的膜层其光密度出现很大差异的主要原因是由于气体的不同质量引起膜层沉积速率的不同，本文研究结果对制取预定光密...

高速钢基体离子注氮对c-BN薄膜制备的影响研究

作者：谭俊; 蔡志海; 张平; 唐云 刊期：2004年第05期

采用射频磁控溅射法在离子注氮的高速钢基体上沉积制备c-BN薄膜，主要研究离子注氮层对c-BN薄膜相结构和内应力的影响；采用各种现代分析方法对沉积的薄膜进行了表征分析，包括傅立叶红外光谱(FTlR)、X射线光电子能谱(XPS)和原子力显微镜(AFM)等分析方法；试验结果表明：高速钢基体上离子注氮有利于立方氮化硼含量的提高和薄膜内应力的降低，同...

宁波金万科机电技术有限公司简介

刊期：2004年第05期

台州市椒江真空设备一厂简介

刊期：2004年第05期

沈阳真空杂志社董事会

刊期：2004年第05期

薄膜热阻微传感器技术

作者：张以忱; 巴德纯; 马胜歌 刊期：2004年第05期

在工业生产中，人们对温度传感器超小型化的要求越来越迫切，而薄膜传感器的出现满足这一要求。薄膜温度传感器由于其优异的性能，在工业生产中越来越得到广泛应用。本文介绍了薄膜温度传感器的特点、种类、应用，着重介绍了薄膜热敏电阻传感器测温机理、膜系、影响其测温精度的主要因素及薄膜热敏电阻主要制备工艺、设备等，并探讨了薄膜热敏电...