真空杂志 统计源期刊

超高真空技术在表面处理系统中的应用

作者：林主税 刊期：2004年第04期

超高真空的获得与测量技术于1950年左右在加拿大和美国问世。今天，伴随着半导体设备、平板显示器、磁和光磁存储器设备等制造业的发展，每隔一个月就要求推出新型有效的生产体系。在这些表面设备的生产系统中，许多都要求局部超高真空或要求整个工艺处理过程置于超高真空环境中。设计一个优质、高效的超高真空系统及操作工艺是达到理想效果的关...

有害气体的抽除与清洁真空的获得

作者：杨乃恒; 巴德纯; 王晓冬; 于治明 刊期：2004年第04期

主要介绍了几种工艺条件下使用的干式真空系统对有害气体的抽除和清洁真空的获得方法。

涂层纳米功能材料

作者：薛增泉; 王晶云; 彭练矛; 张耿民; 宋教花; 申自勇; 侯士敏; 高崧; 赵兴钰; 张琦锋; 陈清; 吴锦雷 刊期：2004年第04期

纳米材料复合涂层的结构和特性是纳米科技中的重要研究课题，本文重点讨论了制造技术的新观念，纳米材料的完美定律，涂层材料的发展前景，纳米场发射特性等。进而，讨论重要的物理理论研究的热点-电子强关联体系和软凝聚态问题。展现了涂层材料科学与技术的深刻理论内容和重要的发展前景。

对水环真空泵发展趋势及设计开发的几点看法

作者：黄毅 刊期：2004年第04期

水环真空泵和水环压缩机是应用相当广泛的通用设备。由于各行业的发展，促使其向大型化、成套性和在较高真空下要求有较大抽气量的方向发展。因而必须进一步提高整机的可靠性和效率，并通过试验研究，提高带大气喷射器时的抽气能力。

从第七届国际真空展看扩散泵产品的变化

作者：徐成海; 王鑫; 勾颖 刊期：2004年第04期

评述现有国产扩散泵产品的进展情况，存在的不足之处，今后应努力改进的方向。讨论测量扩散泵返油率的几种方法，提出采用石英晶体振荡器测量扩散泵返油率的新建议。

我国国防真空计量发展概况及成就

作者：张涤新; 李得天; 黄良甫 刊期：2004年第04期

综述了近40多年来我国国防真空计量的发展概况及成就，内容包括真空(全压力)测量与校准、分压力测量与校准、气体微流量测量与校准。

低温等离子体增强化学气相沉积技术制备碳纳米管

作者：李社强; 江南; 王太宏 刊期：2004年第04期

由于等离子体在低温下具有高活性的特点，等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术可显著降低薄膜沉积的温度范围。通常条件下，高质量碳纳米管的生长要求800℃以上的基片温度，若能使该温度降到400℃以下，则对许多应用非常有利，如可以在玻璃基片上沉积碳纳米管场发射电极。目前，碳纳米管基纳电子器件的研制这一课题备受关注，如果能实现低温原...

常用真空计的测量范围及其性能

作者：王逊 刊期：2004年第04期

介绍几种测量范围为10^-8～10^5Pa的常用真空计，其应用十分广泛，性能较好，价格较低。

迁址通知

刊期：2004年第04期

迁址通知

刊期：2004年第04期

石油大学（北京）北京石大中油石油化工技术有限公司简介

刊期：2004年第04期

高真空卷绕镀膜机市场前景看好

作者：张兰忠 刊期：2004年第04期

新产品介绍——细长电热元件

刊期：2004年第04期

第16届国际真空会议胜利闭幕

刊期：2004年第04期

沈阳真空泵厂（有限公司）简介

刊期：2004年第04期