摘要：采用低电压反应离子镀工艺制备NiO电致变色薄膜，重点研究不同的氧气分压对NiO薄膜的电致变色特性的影响，通过与普通电子束蒸发工艺制备的NiO薄膜进行物理性能和电致变色性能的比较，以及在塑料基板上制备NiO电致变色薄JP2膜的讨论，总结出低电压反应离子镀技术制备NiO电致变色薄膜的工艺和优势。

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