真空杂志 统计源期刊

铜铟镓硒薄膜太阳能电池的发展现状以及应用前景

作者：庄大明; 张弓 刊期：2004年第02期

首先介绍了铜铟镓硒薄膜太阳能电池结构、性能特点以及目前在研究和生产过程中电池的制备方法和工艺；着重阐述了工业发达国家以及相应大公司在铜铟镓硒薄膜太阳能电池方面最新进展以及发展趋势，特别介绍了一些太阳能电池的实验室样品和组件的最高光电转化效率。也对国内在此方面的研究做了简要介绍。文中最后探讨了我国发展铜铟镓硒太阳能电池...

新产品介绍细长电热元件（专利号：ZL00202699．6）

作者：蒋日永 刊期：2004年第02期

等离子体技术在碳氮膜制备中的应用

作者：李建; 刘艳红; 俞世吉; 马腾才 刊期：2004年第02期

β-C3N4是Cohen等人从理论上预言的一种可能比金刚石更硬的物质，含有β-C3N4的碳氮膜具有优异的电学、光学和机械特性，在很多领域有应用前景。人们已经应用多种方法进行碳氮膜的制备。本文将对等离子体技术在碳氮膜制备中的应用进行综述，并在成膜速率、成膜质量等方面，对以往工作成果进行论述；最后将讨论沉积过程中几个参量对碳氮膜沉积速率...

台州市椒江真空设备一厂简介

刊期：2004年第02期

涡轮分子泵参数化设计软件

作者：钟亮; 王晓冬; 巴德纯 刊期：2004年第02期

对几种参数化设计方法进行了比较，根据涡轮分子泵的结构特点，开发了简便实用的涡轮分子泵参数化设计软件。该软件具有智能设计、自主设计、三维造型、动态模拟等功能，对产品开发、泵性能优化等具有实际意义。

北京北仪创新真空技术有限责任公司迁址启事

刊期：2004年第02期

水蒸汽喷射式真空泵CAD／CAPP集成系统的开发

作者：文怀兴; 刘超; 张斌 刊期：2004年第02期

介绍了水蒸汽喷射式真空泵CAD／CAPP集成系统总体结构，论述了尺寸设计CAD模块、CAPP模块和数据管理模块的主要功能，实现了从设计到制造工艺的全过程自动化。

中国真空学会2004年2月份以后的活动计划表

作者：周思平 刊期：2004年第02期

制备NiO电致变色薄膜的低电压反应离子镀工艺研究

作者：李筱琳; 任豪; 罗宇强 刊期：2004年第02期

采用低电压反应离子镀工艺制备NiO电致变色薄膜，重点研究不同的氧气分压对NiO薄膜的电致变色特性的影响，通过与普通电子束蒸发工艺制备的NiO薄膜进行物理性能和电致变色性能的比较，以及在塑料基板上制备NiO电致变色薄JP2膜的讨论，总结出低电压反应离子镀技术制备NiO电致变色薄膜的工艺和优势。

《真空》杂志世纪光盘

刊期：2004年第02期

磁控溅射膜厚均匀性与靶-基距关系的研究

作者：徐均琪; 易红伟; 蔡长龙; 杭凌侠 刊期：2004年第02期

从理论上分析了平面磁控溅射靶沉积薄膜的厚度均匀性。根据磁控溅射阴极靶刻蚀的实际测量数据，建立了靶的刻蚀速率方程，以此为依据，对膜厚均匀性的有关公式进行了讨论。采用计算机计算了基片处于不同靶一基距时，膜厚均匀性的分布。研究结果表明，随着靶基距的增加，膜厚均匀性逐渐变好。在同样的靶基距下，沿靶长度方向的均匀性明显优于宽度...

不同基片对溅射制备MgTiO3-CaTiO3薄膜的影响

作者：董树荣; 王德苗; 金浩; 余厉阳 刊期：2004年第02期

微波介质器件的薄膜化已经成为微波器件的一个研究热点，本文从微波介质陶瓷薄膜化角度在不同低介电常数的介质衬底上溅射制备了MCT陶瓷薄膜，实验结果表明：(110)晶面的单晶SiO2片上的可以在较低温度(610℃)下获得良好结晶情况，介电特性可以和块状材料的多晶MCT陶瓷薄膜相媲美。随着衬底温度升高，薄膜晶体结构逐步由游离MgO向微晶MCT、多晶MC...

中惠真空 检漏和维修改造 真空仪表沈阳中惠真空设备有限公司简介

刊期：2004年第02期

两种真空干燥方法的效果比较

作者：张德翱; 段永涛 刊期：2004年第02期

在既可用于冷冻干燥又可供临界低温干燥操作的真空干燥机中，采用这两种真空干燥工艺对几种干制食品的加工进行了对比性的实验研究。对比的内容为产品中极易损失的热敏性成分含量，产品的色泽和复水性以及加工过程中的主要生产成本。检测表明，两种加工方法所得的产品在易损成分的保存量方面处于同级范围。产品的色泽临界低温干燥比冷冻升华干燥...

恒压式气体微流量计测控系统的设计

作者：冯焱; 成永军; 赵定众; 张涤新; 李得天 刊期：2004年第02期

介绍了恒压式气体微流量计的测量原理及其测控系统的设计方案，对压力测量、变容室气体温度测量、变容室体积变化率测量、恒压控制等关键技术进行了详细说明。该测控系统的应用可以使气体微流量计的测量范围和不确定度均优于设计指标。