真空杂志 统计源期刊

新型纳米功能材料

作者：薛增泉; 奚中和; 邢英杰; 张耿民; 宋教花; 申自勇; 侯士敏; 高崧; 赵兴钰; 张琦锋; 刘惟敏; 吴锦雷 刊期：2004年第01期

讨论了纳米材料复合薄膜的结构和特性，涉及到与力学、防护、电池等特性有关的结构，重点分析了电学、光学、光电特性，如新型纳米线复合光电池，氧化锌(ZnO)纳米棒阵列的结构和荧光发射，以及金属纳米线阵列的制备和场发射特性。金属纳米线阵列场发射的高分辨，结构完美，工艺简单和极低的成本，有可能是未来平板显示器的重要组件。

沈阳真空泵厂（有限公司）简介

刊期：2004年第01期

台州市椒江真空设备一厂简介

刊期：2004年第01期

磁控溅射镀膜中工作气压对沉积速率的影响

作者：王璘; 余欧明; 杭凌侠; 赵保平; 王忠厚 刊期：2004年第01期

沉积速率是磁控溅射镀膜技术中的一项重要指标，它由许多因素决定。为了定性地了解沉积速率与工作气压之间的关系，通过实验测定了不同工作气压下的沉积速率，发现存在一个最大值，并对应有一个最佳工作气压。运用气体放电理论对这一现象进行了分析。这个结论为提高薄膜制备效率指明了方向，并为进一步建立沉积速率与工作气压之间的数学模型打下...

橡胶密封件产品介绍——沈阳市正阳橡塑密封件厂

作者：杨丽蓉 刊期：2004年第01期

新产品介绍——细长电热元件

作者：蒋日永 刊期：2004年第01期

氮在离子氮碳共渗中的作用

作者：孙定国; 赵程; 韩莉 刊期：2004年第01期

研究了在离子氮碳共渗过程中氮对化合物层厚度的影响，同时对化合物层的微观组织结构和显微硬度进行了分析。结果表明：在离子氮碳共渗过程中，气氛中低氮势不利于ε相的生成，且渗层的显微硬度较低；高氮势有利于ε相的生成，同时提高了渗层的显微硬度；当氮势超过60％后对化合物层厚度影响不大。

中惠真空 检漏和维修改造 真空仪表 沈阳中惠真空设备有限公司简介

作者：孙立人; 孙胜岐 刊期：2004年第01期

SHJV

刊期：2004年第01期

C基薄膜电子场发射的一般特性及发射模型

作者：刘艳红; 李建; 马腾才 刊期：2004年第01期

介绍了几种碳基材料的场发射特性及其发射模型。金刚石表面具有较低的或负的电子亲和势，因无法实现N型掺杂，难以用作电子发射材料。类金刚石膜及非晶碳膜材料经过“激活”后在表面形成具有较大场增强因子的熔坑，在几～几十V／μm的低阈值电场下得到非本征的电子发射，纳米结构的碳和碳纳米管本身具有较大的场增强因子，是较有前途的平面阴极场...

多弧真空离子镀铬设备通过省级鉴定

作者：李春影 刊期：2004年第01期

CF4，CH4制备氟化非晶碳薄膜工艺研究

作者：刘雄飞; 肖剑荣; 李幼真 刊期：2004年第01期

以CF4和CH4为源气体，用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备了不同工艺条件下的氟化非晶碳(a—C：F)薄膜。发现薄膜的沉积速率和射频功率几乎成正比关系，薄膜中氟的存在是导致薄膜具有紫外吸收特性的根本原因；用傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析可知薄膜中有C—F基团的存在，使得薄膜的介电常数降低；合理控制沉积条件，可获得理想的电介质...

潮州市创高真空设备工艺厂简介

刊期：2004年第01期

北京北仪创新真空技术有限责任公司迁址启事

刊期：2004年第01期

测量等离子体中尘埃颗粒电荷量的实验方法

作者：宋巧丽; 张鹏云; 王德真; 张家良; 李德君 刊期：2004年第01期

综述了国内外测量尘埃等离子体中尘埃颗粒所带平衡电荷量的实验方法。在文章的前一部分，重点介绍了几种间接测量方法，在文章的后一部分，给出了我们初步的实验结果。实验中，我们根据尘埃颗粒在鞘层中平衡位置处所受重力和电场力平衡mdx=QdE(Z0)，从而求出尘埃颗粒所带的平衡电荷量为10^2e～10^5e，这一结果与其他研究者的结果符合得很好。