摘要：目前,放射治疗是肿瘤治疗的主要方法之一,其中外照射治疗主要采用电子直线加速器作为治疗用的放射源[1-2]。真空系统是高能直线加速器的重要组成部分,其作用为电子枪发射电子和电子束流的加速与运输提供高度真空的环境,通常要求直线加速器在使用中其真空腔压强应低于5×10^-6 mbar(1 mbar=102 Pa),待机状态低于10^-6 mbar[3-8]。

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