摘要：分析了等离子灭菌的原理，并据此给出了过氧化氢低温等离子灭菌的过程及设备的工作流程图；提出了系统设计的要求，并据此架构了系统组成框图；根据对密封门运动过程的分析，提出了可编程逻辑器件控制其运动的状态图；微控制器是整个系统的主控制器，通过微控制器控制系统工作的程序流程图也给出。

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