首页 期刊 中国石油和化工 石墨烯快速批量制备获进展 【正文】

石墨烯快速批量制备获进展

批量制备   石墨   化学气相沉积法   半导体工业   大规模制备  

摘要:近日,中科院通告宣布,该院苏州纳米所通过揭示铜基表面化学气相沉积法(CVD)调控机理,帮助构建静态常压CVD(SAPCVD)系统,实现了快速批量制备石墨烯,在该研究领域取得较大进展。石墨烯快速批量制备是石墨烯相关研究领域的重要研究方向。由于在半导体工业中具有良好的集成兼容性以及低廉的成本优势,CVD方法被认为是最有潜力实现大规模制备高质量石墨烯的方法。

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