首页 期刊 中国氯碱 四氯化硅冷氢化技术研究进展 【正文】

四氯化硅冷氢化技术研究进展

作者:沈峰; 陈其国; 潘维杰 江苏中能硅业科技发展有限公司; 江苏徐州221004
四氯化硅   三氯氢硅   多晶硅   冷氢化  

摘要:综述了冷氢化法制备三氯氢硅中四氯化硅反应机理、反应条件、催化剂、无水氯化氢和能量综合利用的最新进展。

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