首页 期刊 中国氯碱 气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量 【正文】

气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量

作者:杨红燕; 毛智慧; 陶明; 任国杨 云南冶金云芯硅材股份有限公司; 云南曲靖655000; 云南省光电子硅材料制备技术重点实验室; 云南曲靖655000
气相色谱   毛细管柱   氢化尾气   多晶硅  

摘要:建立了气相色谱法测定多晶硅生产氢化尾气中组分含量的方法。采用双通道气相色谱仪,DB-1毛细管色谱柱进行分离,用单丝热导检测器进行检测。

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