摘要：集成电路（IC）技术是现代信息社会的基石，也是高新技术发展的集中体现，在国家信息安全中发挥着重要的战略性作用。当前，器件特征尺寸已微缩到22纳米及以下，由于短沟道效应和沟道散射效应，在关键技术上面临严重挑战。
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