摘要：本文以半导体特性分析仪B1500A为被校对象,针对其ASU小电流测量模块的微小电流0.1 pA点,采用校准电流参数的间接测量法,使用低电流适配器、100GΩ高值电阻器和高精度数字多用表组建测量系统,实现该点的校准。根据测量模型,对校准结果各影响量逐一分析,评定校准结果的测量不确定度,利用传递比较法对测量不确定度进行验证,结果表明该评定方法合理、有效。

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