首页 期刊 中国计量 用于复杂曲面检验校准的CGH关键技术 【正文】

用于复杂曲面检验校准的CGH关键技术

作者:甘子豪; 彭小强; 陈善勇 国防科技大学装备综合保障重点实验室/超精密加工技术湖南省重点实验室
复杂曲面   面形检测   计算全息图   微结构制造   误差评价  

摘要:复杂曲面光学零件在军事领域具有重要的应用,其面形检测技术逐渐成为制约光学曲面精度的关键因素。本文首先从复杂曲面光学零件的需求出发,分析了计算全息图(CGH)法相比于其他检测方法的优势和适用性;然后,对CGH的相位面设计、微结构制造及误差评价三个方面的相关研究成果进行了综述;最后,以自由曲面反射镜为例,利用CGH样品对待测镜完成了精确的面形检验校准工作,并对CGH的制造误差进行了评价。

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