摘要：化学溶液沉积法制备超导膜具有成本低、可以大批量制备的优点,近年来受到了广泛的关注。但由于传统的无氟化学溶液沉积技术无法阻止BaCO3的形成，很难应用于制备具有高性能的YBCO膜。三氟乙酸盐金属有机物沉积技术（TFA-MOD）被认为是一种制备高性能YBCO膜的方法而备受关注。该技术所用的前驱溶液是将Y，Ba，cu的三氟乙酸盐溶入相应的溶剂中，如甲醇，然后通过二步热处理获得YBCO膜。第1步热处理（热解过程）时，在分解前驱膜的同时生成大量HF气体。

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