摘要：采用超高真空热丝化学气相沉积（HFcVD）系统，以甲烷和氢气为反应气体，在YGl3（WC-13％Co）硬质合金基体上沉积金刚石薄膜。采用场发射扫描电子显微镜（FESEM）和x射线衍射仪（XRD）对金刚石薄膜进行检测分析，研究了反应气体的不同进气方式对金刚石薄膜的影响。结果表明，随着进气方式的改变，基体周围气氛的组成、密度和分布受到影响，金刚石薄膜的形核密度、表面形貌、生长织构均有明显的变化，所得金刚石晶粒的生长参数多为1．5〈α〈3，√3／2〈r〈√3。

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