摘要：研究压电陶瓷产生连续可调标准间隙的机理，设计利用压电陶瓷产生标准间隙的装置架构模型，开发了装置的压电驱动器、电压驱动PID闭环控制系统、直流驱动电源关键部件，最后对整个装置性能进行测试。该系统θX、θγ偏摆范围从1mrad到12mrad，Z方向行程范围从7μm到60μm，实现亚毫秒响应速度和亚微弧定位精度，最大偏摆范围达±6mrad。该装置具有精度高、测量链短、读数准确性高、连续可调等特点。

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