摘要：研究了超短脉冲激光烧蚀靶材的整个过程，对描述超短脉烧蚀过程热行为的双温度方程进行了分析简化，得出了超快激光烧蚀金属材料的解析解．以铜靶材为例，对双温度模型的数值解与解析解做了对比分析，得到了靶材温度随时问和深度的变化规律，结果显示解析解的计算结果比较好的符合了数值解的计算结果．

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