摘要：本文采用X射线衍射仪（XRD）、高分辨扫描电镜（HRSEM）、显微维氏硬度计、声发射划痕仪，研究了以化学气相沉积（CVD）法制备的TiCN和TiCNO涂层。通过对比涂层的相结构、组织形貌、硬度及结合强度，分析氧的掺人对TiCN涂层显微结构和力学性能，特别是结合强度的影响。结果表明：CVD制备的TiC0.18N0.48涂层截面呈柱状结构，硬度和结合强度分别为2063HV及127N。掺入氧后的TiC0.61N0.15和TiC0.52N0.25O0.1涂层没有出现新的物相，为面心立方结构的TiCNO固溶体，具有（111）织构；氧的掺入细化了晶粒，使涂层转变为致密结构；其硬度分别提高至2207HV和2753HV，但与基体结合强度分别下降至88N和63N。

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