摘要：化学气相沉积的金刚石膜表面一般比较粗糙，需要经过抛光才能实现其具体的工业应用。本文介绍了各种抛光CVD金刚石膜的方法及近来研究进展，分析了各种技术的优缺点，并结合工业应用对CVD金刚石膜的抛光前景作了展望。

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