摘要:根据结晶器振动以重力为主以交变惯性力为辅的负载特性,步进液压缸采用单出头大速比液压油缸,有杆腔直接供高压、无杆腔压力伺服调节,三通伺服阀控制的技术方案。通过步进电机驱动滚珠丝杠旋转并带动螺母和伺服阀阀芯上下直线运动,步进液压缸的活塞轴跟随伺服阀阀芯上下运动。
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