二氯二氢硅对多晶硅生产的影响

作者：周万礼; 马启坤; 王金; 张健雄云南冶金云芯硅材股份有限公司; 云南曲靖655000; 云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室; 云南曲靖655011

多晶硅生产二氯二氢硅影响控制

摘要：二氯二氢硅是多晶硅生产中产生的主要副产物,其长期富集在生产系统会对质量、安全及系统稳定运行造成影响。通过分析二氯二氢硅的来源,并综合现有生产工艺特点,实现生产系统中二氯二氢硅的有效控制。