摘要：电子气体是现代化电子工业发展的重要生产原料,随着电子工业的高速发展,对电子气体的纯度要求也越来越高。较为详细地论述了低温精馏、吸附、膜分离等方法在含氟电子气体制备方面的应用,并对其发展趋势进行展望。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社