摘要：在热超声芯片键合过程中,PZT换能器阻抗是键合系统的一个重要的研究参数.本文在提取PZT换能器驱动电信号实部数据的前提下,采用连续加窗的有效统计值计算的广义阻抗表征整个键合周期内的PZT换能器阻抗变化,由此获得键合过程PZT换能器阻抗的动态变化规律.文中详细介绍了PZT换能器阻抗的试验方法,并分析了试验结果.

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