摘要：MEMS梳状线振动陀螺仪阻尼包括结构阻尼和流体（空气）阻尼，而对于此种结构而言，空气黏性阻尼比结构阻尼大的多。由于气压的变化会引起空气黏性系数的变化，因而会引起MEMS梳状线振动陀螺仪谐振频率、阻尼系数、零偏等参数的变化。因此，研究气压变化对MEMS梳状线振动陀螺仪的影响是非常必要的。根据MEMS梳状线振动陀螺仪的结构特点，建立了压膜阻尼和库埃特流阻尼模型及气压与阻尼的关系模型，研究了气压对两种阻尼的影响以及对MEMS梳状线振动陀螺仪输出电压的影响。通过研究分析可知，气压在小于一个大气压时对压膜阻尼系数的影响很大，进而对MEMS梳状线振动陀螺仪输出的幅值影响也较大。气压在接近或者大于一个大气压时，MEMS梳状线振动陀螺仪随着气压的变化不大，因此将此种陀螺仪的气压控制在一个大气压。

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