摘要:提出了一种改进的高精度硅微陀螺仪闭环自激驱动方案。该方案对相角进行了优化控制,消除了驱动频率和驱动模态固有频率的相对频差影响,实现了闭环驱动的相角和增益条件的解耦。利用闭环回路中直流控制量与驱动力间的非线性关系,实现闭环自激控制。试验结果表明,1小时内,驱动频率变化的均方差为0.009Hz,相对变化量为2.2ppm;驱动幅度变化的均方差为0.0025mV,相对变化量为15ppm。由此可见,本方案使驱动频率和幅度稳定性得到了极大提高。
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