摘要：目前，硅压阻式压力／压差传感器在伺服系统上得到广泛的应用。但是由于其内部压力敏感芯体的封装结构为薄膜隔离式，其内部硅油的密封性是伺服系统配套传感器长期带压贮存的软肋。根据伺服系统对压力／压差传感器的需求，研制了几种无介质压阻式压力／压差传感器，其内部避免了硅油介质传递压力，保证了传感器的可靠性。通过传感器原理结构的研究，以及其性能指标的测试和对比，为伺服系统配套传感器提供了新的选择。

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