首页 期刊 宇航计测技术 光栅的衍射在高分辨力测长仪器中的应用研究 【正文】

光栅的衍射在高分辨力测长仪器中的应用研究

作者:芦志成; 刘诗飞; 龚良; 谢科 江西东华计量测试研究所; 南昌; 330029
光栅   高分辨力   信号合成   衍射条纹   高密度  

摘要:选用高密度光栅产生衍射条纹,研究其信号合成、采集及处理的方法以实现在长度计量中,纳米分辨力的计数.

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