摘要：通过理论分析和实验研究相结合的方法,对工件旋转条件下电镀金刚石线锯切割SiC单晶片锯切力进行了分析。依据磨削和动态切削理论,分析了线锯与工件运动模型、单颗金刚石磨粒的切向和法向锯切力,建立了金刚石线锯锯切力模型;进行了工件旋转条件下SiC单晶切割实验,对理论分析结果进行验证,重点对线锯速率、工件进给速率、工件旋转速率及工件未切割直径等工艺因素对切向锯切力的影响进行分析。结果表明理论分析和实验结果相对误差不大于5.2%,验证了所建模型的正确性,为探索SiC单晶片的切削机理和参数优化提供依据。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社