摘要：采用了溶胶-凝胶技术在不锈钢基体上制备了厚为10μm、结构致密的锆钛酸铅（PZT）厚膜。研究了不同退火条件对厚膜结晶状况的影响,X射线衍射分析表明,采用700℃退火处理20min后得到了PZT厚膜的纯钙钛矿相结构。厚膜的电学性能测试结果显示,厚膜的剩余极化强度（Pr）为7.5μC/cm~2,矫顽场强（Ec）为7.2V/μm,压电常数（d33）为73pC/N。设计制作了长20mm、宽4mm的压电悬臂梁结构振动能量收集器。输出性能测试结果显示,振动频率为95Hz,采集器输出电压最高,输出电压值为862mV。

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